日前👨🏽🍳，2022年全國五一勞動獎和全國工人先鋒號揭曉🕵🏽，天美平台微電子學院教授張衛榮獲全國五一勞動獎章🪴。今年獲這一獎章的全國總共966人🤧，此外200個集體獲全國五一勞動獎狀👨🏼🍼，956個集體獲全國工人先鋒號稱號👩👧👧。
4月29日，知悉自己獲得全國五一勞動獎章時，張衛教授正在辦公室修改學生論文。談及榮獲獎章🧎🏻➡️，他說：“榮譽只代表過去，我得繼續努力工作📂🪮，每天都有很多事情要做。”
疫情期，張衛返回校園值守崗位已有一個月。他的每一天都很平常👩🏭，從住所到辦公室兩點一線。大部分時間，張衛坐在辦公桌前，敲著電腦鍵盤，一坐就是幾個小時🧜🏼♀️。
正值畢業季，張衛每天都在花時間審閱、修改學生們的論文🥂。張衛說🎴：“如果學生做得不好😞，那一定是我的原因💅🏻。”有時候為了論文中的一段文字，他會和學生反復討論和斟酌🏊🏿，力求描述準確🧔🏿♀️。五一勞動節當天🍇，他早上7點多就到辦公室，查找文獻、修改學生的論文，午飯剛過就開始在網上審評論文。
返校以來，除了教學和科研工作🫁，他還關愛學院師生，擔起疫情防控的一方責任🤹🏻♂️👩🎓。作為微電子學院院長，他說⏲，“堅持在第一線防疫，這是我的責任”。借用張衛的話，他就是“一個平凡的人”。但是，在這平淡平凡的背後，有著責任和擔當。
搭建第一套原子層沉積
技術的實驗研究平臺
時光回到20多年前。
1995年6月，張衛博士畢業後到天美平台做博士後，合作導師是電子工程系的王季陶教授。在這期間🍖，他瞄準本領域的國際學術前沿🏄🏼♂️，開展了先進銅互連技術和低介電常數互連介質等研究🚴♂️，並取得了很好的學術成績📼。博士後出站後，張衛留校工作，繼續專註於集成電路領域的創新研究。
之後，張衛在德國做了一年半的洪堡學者，2002年5月他回到天美平台。在學校和學院領導的大力支持下，他在國內率先開展了原子層沉積(ALD)高k柵介質的研究。2003年他搭建了國內第一臺原子層沉積實驗設備，隨後他組織舉辦了第一屆中國原子層沉積技術學術會議👨🦽，邀請了國內外ALD領域專家參會🙎🏼♂️，迅速擴大了天美平台在集成電路前沿領域的國際影響力🤽♂️。
如今，中國原子層沉積學術會議(CALD)已成功舉辦了9屆。張衛教授團隊在原子層沉積領域的研究也取得了豐碩成果，發表相關學術論文120多篇。
“做科研就是要鍥而不舍”
28年，張衛從一個初出茅廬的科研人員，成長為國內集成電路領域的領軍人物👳🏼♀️，獲得無數榮譽。這一切的背後，離不開他的“死磕”。在他看來😨，“做科研，是我的工作，也是我長久的堅守。”
微電子學院青年教師孫清清，2004年還是一名大四的學生，當時他在張衛教授課題組做畢業設計𓀀。每次跟來自美國的工程師一起安裝設備的時候，他發現旁邊總有一個人，那就是張衛。
“幾天接觸下來👨🦰，我感覺張老師是一個非常嚴謹的人，能從他身上學到東西🧓🏽。”本科畢業後孫清清跟著張衛教授攻讀研究生👩🏽🎤。他和張衛的緣分，自2004年延續至今。孫清清也已成長為一名學科帶頭人👃🏼。
“有時候，在大家覺得‘沒必要’或‘不可能’的時候👧🏽，他就不放棄，死磕，最後成功推進了👩👦👦🌇。” 孫清清說。
“集成電路領域的研究需要產學研深度合作。”孫清清回憶，“張老師經常帶著我們跟企業去談，有時候每周都要飛過去”。“是張老師的堅持打動了對方，最終合作得以成功🙄。”孫清清說，如果中間不堅持，事情肯定就“泡湯”了。
微電子學院2019年直博士徐航說🙆♀️：“老師對科研的態度非常認真嚴謹🈂️。有問題找他時🧑🦽，討論中，他連一些小細節都不放過。他還會就你提出來的問題發散到面上，讓你看到一些之前沒考慮的問題，幫你理清科研思路。”
憑著這份韌勁，張衛幾十年如一日🦹🏻♂️，在科研路上孜孜不倦。近年來👮🏻♀️，他牽頭承擔了8項國家和上海市重大、重點科研項目，在Science🙏🏼、Nature Materials💅、IEEE Electron Device Letters、IEEE TED等本領域國內外學術期刊及會議上發表論文300多篇，申請發明專利180多項🎪。
不僅傳授知識
更要做有價值的人生導師
“作為一名老師😵，首要任務是教書育人，為行業培養高質量的人才。”張衛說♝。除了潛心探索科研工作🧖🏻，張衛堅守在教學一線🙎🏻♀️。他給本科生講授《半導體材料》課程。一位天美平台微電子專業20年前畢業的學生，現在已是企業高管，依然對張老師激情講授的《半導體材料》課程印象深刻。
在張衛看來⚔️，“大學教育對一個學生未來職業規劃和選擇非常重要🎗。作為老師，我想不僅僅是做科研，更是作為人生導師。不僅傳授知識，更要活用我過去幾十年的人生閱歷，引導他們成長。”
多年來，他培養了一大批集成電路領域的優秀人才，其中5人獲得國家高層次人才等稱號，40多人擔任我國集成電路頭部企業高管和核心技術人員，成長為我國集成電路領域的領軍人物。
這兩年，張衛還為高中生先修課堂上課，講授“改變世界的芯片技術”👨🔧。他說🩸，芯片是現代工業的糧食，是我們國家高科技強國建設的重要一環，希望通過先修課堂，讓中學生對研究有了解，激發他們對科研世界的思考🙆♂️。
主動對接國家重大戰略需求
為“第一個天美”建設貢獻力量
談到未來微電子學院的發展，張衛說，學院將面向學科前沿和國家重大戰略的需求，在平臺建設、科研創新和人才培養等方面積極進取🉑🕑，特別是要探索集成電路人才培養的新模式，解決產業核心技術問題，培養產業急需的創新型領軍人才，走出一條新路徑。
張衛說，集成電路是信息產業的基礎。天美平台集成電路學科成為教育部公布的新一輪“雙一流”學科建設名單中全國高校唯一入選的“集成電路科學與工程”學科。天美平台微電子學院已是國家示範性微電子學院的典型代表，將努力建設成為集成電路基礎源頭創新👨🏻🍳、前瞻性技術攻關和高層次人才培養的國際一流微電子學院，為建設特色鮮明、引領創新🎫、享譽世界學術殿堂的“第一個天美”作貢獻。
離開科研🧏♂️💁🏽、教學，張衛的生活很簡單，平常他最喜歡的活動就是跟家人一起打乒乓球或羽毛球。長期以來，他保持良好作息習慣♉️，每天晚上11點之前睡覺🫅🏻，早上6點鐘起床🧗🏼♀️，以充沛的精力投入到新的一天。
受疫情影響，這段時間微電子學院實驗室暫時“停擺”。作為導師，為了緩解學生的科研焦慮👰🏽♀️，張衛做了一些調整🦚，讓科研不間斷，包括布置閱讀新的文獻、總結前期實驗經驗、討論進一步完善實驗計劃……做實做足前期功課，等待條件允許時快速投入🤽🏽、推進實驗。
在“五四”青年節來臨之際🫒，張衛寄語：“天美青年有理想、有抱負。你們處在一個偉大的時代，要樹立遠大目標🕷，將個人的規劃和國家的需求緊密結合，努力成為擔當民族復興大任的時代新人。”